Разместить статью бесплатно Подписка на RSS

Установка магнетронного напыления ЭТНА-М

Установка  магнетронного напыления  ЭТНА-М от Системы инжиниринга тепловых и энергетических комплексов - СИТЭК

Назначение

  1. Магнетронное осаждение металлических слоев.

Установка представляет из себя моноблок. Реактор выполнен из нержавеющей стали с открывающимся верхним фланцем для загрузки образцов, и несущем на себе функцию их нагрева. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.

Основные параметры

- поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;

- расположение – лицом вниз;

- максимальная температура и способ нагрева – 350 ºС, ламповый;

- диаметр используемых мишеней – 76 мм;

- мощность источника постоянного тока, напряжение максимальное – 1100 Вт, 1000 В;

- откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;

- количество газовых каналов, максимальный расход, способ регулирования – один, 20 см3/мин, посредством электронного регулятора;

- предельный вакуум – 10-6 торр;

- управление – автоматическое от ПК через клавиатуру и монитор или ручное;

- контроль давления – химически стойким мембранным датчиком MKS Baratron, широкодиапазонным датчиком Varian FRG700, блокировки на открытие клапанов;

- рабочее давление в реакторе – на уровне 0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;

- баллон (1-3 л) с аргоном располагается внутри установки и входит в ее состав;

- инфраструктурные требования – сжатый воздух.

- питание - 220 В, не более 3 кВт;

- габаритные размеры 500х1000х1600мм, масса не более 350 кг;

Дополнительные возможности по требованию заказчика

- ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;

- питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера.


Информация предоставлена: Системы инжиниринга тепловых и энергетических комплексов - СИТЭК
Дата публикации: | Фирма: СИТЭК | Все технологии этой фирмы